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1、高深宽比纳米结构制备及应用

图 1 高深宽比纳米结构研究

高深宽比纳米结构制备及应用方向主要解决的问题是：①揭示极小尺度高深宽比纳米结构可靠成形的力学机理；②研究电化学沉积方法中反向电流参数对结构成型的影响；③制备出高性能的高深宽比结构，并开展应用研究。该研究方向共依托于两大重大工程项目：①由国家自然基金青年项目资助的《高深宽比纳米结构的可控毛细力自组装机理与应用研究》，共获资助21万元；②由北京市自然基金面上项目资助的《基于毛细力自组装的高深宽比纳米结构器件制备的调控机理及应用研究》，该项目获资助18万元。在该研究方向上发表SCI期刊论文4篇，EI会议论文2篇。

2、基于模板刻蚀的研究及应用

该研究方向解决的问题包括：①研究基于模板自组装微纳加工工艺的关键参数影响；②制备出表面增强拉曼散射（SERS）基底，并开展痕量检测应用。基于模板刻蚀的研究及应用主要依托于《新型纳米结构加工方法的探索及对比研究》项目，该项目由国家自然基金国际合作与交流项目资助，资助金额为14.91万元。基于该方向共发表SCI期刊论文4篇，EI会议论文1篇。