微纳电子技术研发中心

一、实验室简介

北方工业大学集成电路工艺与封测实验室隶属于北方工业大学信息学院和北方工业大学高精尖创新研究院，为万级洁净室，净化面积264平米。实验室面向集成电路新型器件及微纳电子器件的研发需求，建设了完整的4寸工艺平台和先进的中测和封装平台。目前，除服务于本院科研和教学任务外，还与中科院、北大、北理工等科研机构以及京东方等公司开展了广泛、深入的科研合作，均取得良好效果。

面向教学与科研，同时服务社会，并为合作单位提供基于先进工艺和测试能力的良好服务，共同推动国内微电子人才的培养和半导体加工能力的不断升级，是我们不变的宗旨。

二、实验室设备及技术能力

实验室具备以下实验条件：1.近全套4吋工艺线：Suss曝光机、ICP/IRE/IBE刻蚀机、PEALD原子层沉积/PVD磁控溅射/电子束蒸发台/金属热蒸发台/旋涂仪等薄膜制备设备等；2.中间测试设备：布鲁克台阶仪、CASCAD8吋半自动探针台、B1500、B1505、吉士利4200、FTIR、PL、SEM、XRD、AFM、孔径仪（膜厚、孔隙率）等测试设备。3.封装设备：超声金丝球焊机、自动超声波焊线机AB520。4.可靠性测试设备：集成电路高温动态老化系统（老化箱）、快速温变试验设备（高低温箱）。