一、设备概述

德国布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）具有优异的抗噪声特性， 可以提供更高的重复性和分辨率。可以广泛的应用于微电子器件、半导体、电池、高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域对各种复杂精密元器件表面形貌测量，精确测量表面形貌、台阶高度和表面粗糙度等。

提高数据采集和分析速度，利用独特的直接驱动扫描平台，Dektak XT 减少了扫描间的时间，而没有影响分辨率和背景噪声。DektakXT 采用Bruker64-bit 数据采集分析同步操作软件Vision64，它可以提高大范围 3D 形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。

二、台阶仪 Dektak XT 能实现

放大倍率：0.5-200 倍适用范围：非透光样品

垂直测量量程：任何倍率下亚纳米级-毫米级垂直测量量程

 

台阶高度重现性低于 4 埃；

Single-arch 设计提供具突破性的扫描稳定性；

先进的“智能电子器件”设立了新低噪音基准；

新硬件配置使数据采集时间缩短 40%；

64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了10倍； 直观的Vision64用户界面，操作简易；

单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围。