一、设备概述

FS-Pro 系列半导体参数测试系统是基于人工智能算法驱动的 IV, CV，1/f 噪声一体化测试解决方案，将常用半导体低频特性测量集中于单台仪器内完成。同时FS-Pro 可以无缝的集成到 9812 系统，相比于业界其它 SMU，FS-Pro 的低噪音特性和快速 DC 测试能力可以进一步提升业界 1/f 噪声测试黄金标准 9812 的测试速度。

二、技术指标

高分辨率: 30fA 精度，0.1fA 灵敏度

宽量程: 最高至 200V，1A 直流电流

内置脉冲测试: ±200V, 最小脉宽 50usHz,

噪声分辨率: 2e10-28A2/Hz

系统噪声带宽: 0.001Hz - 100kHz

最低测试频率: 0.001Hz

最小测试阻抗: 500Ω 测试速度: <10sec/bias (f>0.5Hz）

内置 CV 测试范围: 10kHz

内置 CV 测试精度: 100fF

扩展性: > 100 并行测试通道

三、LabExpress 指标

FS-Pro 系列内置 LabExpress 测量软件，具有强大的测试分析功能，提供图形化的用户使用界面，

软件具有下列特征:

1、即插即用：用户仅需点击鼠标就可以完成器件测量

2、提供大量测量例程，涵盖多数器件类型

3、可通过 GPIB 控制其他测试仪器，并符合 IEEE 488.2 标准，支持晶圆映射。