一、广泛的工作条件与精密测量功能相结合
适合功率器件表征的综合解决方案,高达 1500A 和 10kV;中等电流测量和高电压偏置(例如,500mA,1200V);μΩ 导通电阻测量功能;高电压偏置时,可进行精确的 sub-pA 电平电流测量。
二、广泛的器件测量功能
可在高达 3000V 直流偏置时执行全自动电容测量;10μs 高功率脉冲测量;封装器件和晶圆上 IGBT/FET 栅极电荷测量;通过互锁测试夹具执行安全的与温度相关的测试。