一、设备概述

4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪，4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

二、主要性能指标

1）I-V 源测量单元(SMU)

2）C-V 多频率电容单元(CVU)

3）高压脉冲发生器单元(PGU)