一、设备概述

傅里叶变换红外线光谱（FTIR：Fourier Transform infrared spectroscopy）分析仪用于半导体制造业。FTIR 为利用红外线光谱经傅里叶变换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。傅里叶变换红外光谱仪主要由迈克尔逊干涉仪和计算机组成。迈克尔逊干涉仪的主要功能是使光源发出的光分为两束后形成一定的光程差，再使之复合以产生干涉，所得到的干涉图函数包含了光源的全部频率 和强度信息。用计算机将干涉图函数进行傅里叶变换，就可计算出原来光源的强度按频率的分布。

二、光谱分析仪的应用

FTIR 技术可以用来侦测各种不同的化学分子，并且对於同时出现的不同种类化学物质具有相当高的鉴别率。